日本豐興AD-SL231D-304B氣動(dòng)角閥TOYOOKI

1. 產(chǎn)品概述

• 型號(hào)：AD-SL231D-304B

• 品牌：豐興（Toyoko Koki）

• 類型：氣動(dòng)高真空角閥（Angle Valve）

• 定位：適用于超高真空（UHV）和腐蝕性環(huán)境，常見(jiàn)于半導(dǎo)體、鍍膜及科研設(shè)備。

2. 核心特點(diǎn)

• 超高真空兼容：

• 泄漏率 <1×10?? Pa·m3/s（金屬密封），滿足UHV標(biāo)準(zhǔn)（10?? Pa以下）。

• 耐腐蝕設(shè)計(jì)：

• 閥體材質(zhì)為 SUS304不銹鋼（標(biāo)準(zhǔn)），可選SUS316L增強(qiáng)抗腐蝕性（如應(yīng)對(duì)Cl?、HBr）。

• 快速響應(yīng)：

• 氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)，開(kāi)關(guān)時(shí)間 ≤0.5秒，支持高頻操作（如半導(dǎo)體腔室隔離）。

• 緊湊輕量化：

• 結(jié)構(gòu)優(yōu)化，重量較傳統(tǒng)閥門(mén)減輕20%，適合高密度設(shè)備集成。

3. 技術(shù)參數(shù)

4. 與AD-SL231D-504B的區(qū)別

• 材質(zhì)差異：

• -304B：閥體為SUS304（通用型不銹鋼），成本較低。

• -504B：閥體可能升級(jí)為SUS316L（更高耐腐蝕性），適合惡劣工藝環(huán)境。

• 密封選項(xiàng)：兩者均支持金屬/氟橡膠密封，但-504B可能默認(rèn)配置更耐腐蝕的密封組合。

5. 典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體制造：刻蝕設(shè)備腔室隔離、CVD氣體通路控制。

• 真空鍍膜：磁控濺射設(shè)備的真空系統(tǒng)閥門(mén)切換。

• 科研裝置：同步輻射光源、電子顯微鏡的真空隔離。

6. 選型建議

• 腐蝕性環(huán)境：若工藝涉及強(qiáng)腐蝕氣體（如等離子刻蝕），建議確認(rèn)SUS304是否足夠，或升級(jí)至SUS316L版本。

• 驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng)需潔凈壓縮空氣（無(wú)油、無(wú)水），電動(dòng)需匹配PLC信號(hào)（如24VDC）。

• 法蘭兼容性：需與現(xiàn)有系統(tǒng)的法蘭標(biāo)準(zhǔn)（CF/KF）匹配，必要時(shí)提供接口圖紙。

7. 支持與服務(wù)

• 豐興提供 3D模型下載（STEP/IGES格式）和定制化修改（如法蘭方向調(diào)整）。

• 渠道可獲取泄漏率測(cè)試報(bào)告和壽命驗(yàn)證數(shù)據(jù)（通常>100萬(wàn)次循環(huán)）。

日本豐興AD-SL231D-304B氣動(dòng)角閥TOYOOKI